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光学掩摸板,不锈钢掩摸板

光学掩摸板,也有些人写掩膜板、或者是写成掩模板等等,都是指用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,它的应用非常广泛。比如像集成电路、显示器等等和电路有关的制作。 通俗地说,掩模板也有人称为光罩。英文为Mask Reticle,目的是通过掩膜板的图形造成,通过光刻机械,利用掩膜板的透光和遮光的部分,光刻出各种各样我们需要的集成电路、微机系统等。 臻亿恒的光学掩 ...
产品介绍

光学掩摸板,也有些人写掩膜板、或者是写成掩模板等等,都是指用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,它的应用非常广泛。比如像集成电路、显示器等等和电路有关的制作。

通俗地说,掩模板也有人称为光罩。英文为Mask Reticle,目的是通过掩膜板的图形造成,通过光刻机械,利用掩膜板的透光和遮光的部分,光刻出各种各样我们需要的集成电路、微机系统等。

臻亿恒的光学掩摸板制作过程严格按照流程进行,争取产品质量一流。
1) 第一步,我们会根据客户提供的样片,绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(GDS格式)
2) 第二步,使用无掩模光刻机读取第一步制作好的版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光,照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应
3) 第三步,经过显影、定影后,曝光区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层
4) 第四步,是最关键的一步,使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。
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